漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气
平行度: <10 Arc Seconds/<30 Arc Minutes
法兰材料: 304/316 不锈钢
平面度: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront
表面抛光度:40/20;20/10
热量范围: -100˚C- 200˚C
材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica
传感:
UV等级: >90% @ 250nm (external)
DUV等级: ≥99.8% @ 248nm (internal)
均质等级:UV等级:F/ DUV等级:A
包涵类:UV等级:2/ DUV等级:0