漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气
平行度: <10 Arc Minutes
法兰材料: 304/316 不锈钢
平面度: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront
表面抛光度:20/10
热量范围: -100˚C- 200˚C
材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica
均匀等级: A
杂质等级: 0