EUV 级（准分子）熔融石英视口，1.37“ 视图直径，1.50” 直径不锈钢焊接适配器

产品描述

EUV 级（准分子）熔融石英视口，1.37“ 视图直径，1.50” 直径不锈钢焊接适配器

准分子级熔融石英窗口片，可烘烤至 200 摄氏度，非磁性材料，对 193nm 紫外线具有出色的透射率，兼容 UHV

选型

EUV 级（准分子）熔融石英视口，零长度轮廓，1.40“ 视图直径，2.75” 平坦法兰

漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气

平行度: <10 Arc Minutes

法兰材料: 304/316 不锈钢

平面度: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront

表面抛光度：20/10

热量范围: -100˚C- 200˚C

材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica

传感:≥99.5% @ 193nm (内部)

均匀等级: A

杂质等级: 0


技术参数
石英玻璃尺寸